С точки зрения масштаба и технического уровня строительства чистых помещений разрыв между моей страной и развитыми странами еще больше. Японская компания Shimizu Construction Company. Площадь чистых помещений по контракту с 1982 по 1987 год достигла 718 тысяч квадратных метров, в то время как общая площадь чистых помещений по контракту в моей стране составляет менее 100 000 квадратных метров. Отличное развитие. Общая площадь чистых помещений по контракту в 1993 году была близка к 150 000 квадратных метров. Масштаб строительства чистых помещений в Соединенных Штатах еще больше. В 1998 году статистика достигла 1,885 миллиона квадратных метров. С точки зрения уровня чистые инженерные технологии , в конце 1980-х годов за рубежом было построено большое количество сверхчистых помещений с уровнем 0,1 микрона. В 1987 году завод Sanyo Niigata в Японии построил чистый цех десятого уровня площадью 3000 квадратных метров, а NIT logs построил четыре цеха по 1000 квадратных метров. Счетчики контролируют пыль размером 0,1 микрона в цехе на тысячу уровней, а количество смен воздуха достигает 300 раз в минуту. Новый американский завод TSMCS на Тайване построил чистую комнату четвертого поколения с воздуховодами общей площадью 10 000 квадратных метров. Чистая комната класса 10 с уровнем 0,1 микрона, используемая в моей стране, в основном зависит от импорта из-за рубежа. Поскольку стоимость чистой комнаты с высоким уровнем чистоты очень высока, стоимость квадратного метра чистой комнаты класса 10 с уровнем 0,1 микрона достигает 10 000 долларов США. Чистые цеха занимают очень большую долю инвестиций в крупномасштабное оборудование для производства интегральных схем, что несовместимо с тенденцией развития непрерывного обновления технологии интегральных схем и все более быстрыми циклами замены продукции, что серьезно ограничивает развитие технологии крупномасштабных интегральных схем. развитие. Оборудование и технология системы микросреды субмикронной продукции с использованием технологии изоляции, разработанные американской компанией ASYST и немецкой компанией MW, получили широкое распространение в последние годы. Эта новейшая чистая технология принимает микросреду, в которой технологическое оборудование частично использует технологию изоляции в чистом цехе с уровнем чистоты 100, что снижает соотношение инвестиций к микросреде высокого уровня и устраняет источник вторичного загрязнения, вызванного работой оператора и технологического оборудования. Это влияет на выход и надежность интегральных схем.

чистый пропускной пункт 、 Китайский воздушный душ, чистая комната、 конструкция ламинарного вытяжного шкафа 、добро пожаловать, Инукири Вонзона