Требования электронной промышленности к чистым помещениям в чистых помещениях должны быть обеспечены
воздушные ливни
, чистые ангары, очистные установки FFU, высокоэффективные фильтры, высокоэффективные воздуховыпускные отверстия и окна передачи. Ваши требования соответствуют стандарту, если эти оборудования не установлены.
Требования электронной промышленности к чистым помещениям
чистые комнаты
: чистые помещения также называются чистыми цехами, чистыми помещениями, чистыми комнатами. На заводах по производству электроники существует множество типов производственных процессов, в том числе производство интегральных схем (делится на фотошаблоны, передние процессы и задние процессы), производство дисплеев Pingnan (делится на LCD, PDP, TFT, VFD, кинескопы), производство кремниевых материалов (монокристаллический кремний, поликремний), производство оптического волокна, производство карт, поверхностный монтаж (SMT), производство разделительных устройств (лампы первого, второго и третьего уровня мощности, конденсаторы, резисторы), производство полной сборки машин (приставки, цифровые проекторы, электронные цифровые камеры), производство компонентов автоматического управления (датчики, исполнительные механизмы) и т. д.
Из-за разнообразия производственных процессов требования к уровням чистоты различны, высокий - это высокий, а низкий - это низкий; требования к контролю размера частиц также различны, в пределах примерно от 0,1 до 5 мкм; требования к контролю температуры и влажности относительно высоки. Например, предыдущие этапы интегральных схем, как правило, требуют базовой температуры 22 °C (точность от ± 0,1 до ± 1 °C) и базовой относительной влажности 40 % (точность от ± 2 до ± 5 °C; уровень градиента, необходимый для положительных значений давления, составляет Степень чистоты изменяется от высокой к низкой, разница составляет 5 ~ 10 Па.
Холодильная нагрузка беспыльного цеха в
электронная промышленность
намного больше, чем в других отраслях промышленности, а удельная нагрузка охлаждения составляет 400 ~ 500 Вт / ㎡. Из-за большой нагрузки охлаждения охлаждение также обычно требуется зимой, что является характерной чертой электронной промышленности.
В процессе производства в электронной промышленности образуется много типов вредных газов, и их количество также велико, поэтому требуется также большое количество отработанного и свежего воздуха. Меры по экономии энергии нового отработанного воздуха также являются одной из характеристик отрасли. Перед выбросом следует провести обработку, чтобы сделать нагрузку отработанного воздуха экологически чистой.
Производственный процесс в электронной промышленности предъявляет требования к антистатическим и антивибрационным свойствам, и существует множество типов сыпучих и специальных газов, которые требуют высокой степени чистоты:
1. Уровень шума (пустое состояние) в 10 000-уровневой чистой комнате на заводе по производству электроники: не должен превышать 65 дБ (А)
2. Чистое помещение на заводе по производству электроники должно быть заполнено не менее чем на 60%, а чистое помещение с горизонтальным однонаправленным потоком должно быть заполнено не менее чем на 40%, в противном случае это будет частично однонаправленный поток.
3. Разность статического давления между чистым помещением и наружным пространством завода-изготовителя электроники должна быть не менее 10 Па, а разность статического давления между чистой зоной и нечистой зоной с разной чистотой воздуха должна быть не менее 5 Па.
4. Количество свежего воздуха в 10 000-уровневом чистом помещении электронной промышленности должно быть максимальным из следующих двух показателей:
5. Сумма объема воздуха в помещении и количества свежего воздуха, необходимого для поддержания положительного давления в помещении.
6. Обеспечить, чтобы количество свежего воздуха на человека в час в чистом помещении составляло не менее 40 м3.
онлайн -сервис
